Sillicon nitride
CAS No. : 12033-89-5
º°¸í : ÁúȽǸ®ÄÜ
ÈÇÐ½Ä : Si2N3(3ÁúȱԼÒ), SiN(1ÁúȱԼÒ), SiN4(4ÁúȱԼÒ)
¼º»ó : SiN4(¥âÇü)Àº ȸ»öºÐ¸», ºñÁß 3.18, ¸ð¿À½º°æµµ 1,900¡É¿¡¼ ½ÂÈ, ƯÈ÷ ¿ÆØâ °è¼ö ÀÛÀ½, ÈÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤ÇÔ
¿ëµµ : ÀÚµ¿Â÷¿£Áø, Ç×°ø±â¿£Áø, °¡½ºÅͺó, ±â°èºÎÇ°, ¿øÀÚ·Î ÇÙÀ¶ÇÕ·Î, ÇØÀúÀÚ¿ø ŽÃë¿ë ÀÚÄ¡Àç·á, °í°µµ ³»½Ä, ³»¿, ³»¸¶¸ðÀç, Àý»è °ø±¸
¿ø·á : ±Ý¼Ó±Ô¼Ò, Áú¼Ò
Á¦¹ý : ±Ý¼Ó±Ô¼Ò ºÐ¸»ÀÇ Á¦¹ýÀ¸·Î ±Ý¼Ó½Çȹý, ±â»óÇÕ¼º¹ý, ¾×»ó°è¸é¹ÝÀÀ¹ý, °í¼øµµ½Ç¸®Ä«È¯¿øÁúȹý µîÀÌ ÀÖ´Ù.
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